適用于潔凈工藝應用的多級羅茨泵

Pfeiffer 普發(fā)的多級羅茨泵兼具出色的耐用性和高運行可靠性。它們非常適合需要潔凈、無油和無顆粒真空環(huán)境的應用，例如半導體制造或真空鍍膜。

潔凈真空應用的理想解決方案

ACP 系列、A 100 L 和 A 200 L 系列以及 TORRI BD 真空泵是專為需要高純度和運行可靠性的潔凈工藝而設計的先進解決方案。
ACP 系列采用變速驅(qū)動、風冷系統(tǒng)，憑借精確校準的間隙實現(xiàn)非接觸式運行，維護需求極低，可提供穩(wěn)定的性能和耐用性。這些特點使得該系列真空泵能夠高效運行，并且有多種型號可供選擇。每種型號均針對特定應用進行了優(yōu)化：從處理潔凈、無腐蝕性的氣體到處理微量腐蝕性氣體工藝均能勝任。ACP 系列內(nèi)置氣鎮(zhèn)閥，有效提高對輕質(zhì)氣體的抽速，并防止泵內(nèi)發(fā)生冷凝。這些特性使 ACP 系列成為半導體制造、醫(yī)療和制藥行業(yè)以及研發(fā)等領域干式真空工藝的理想選擇。
A 100 L 和 A 200 L 系列采用緊湊型設計，提供靈活的水平/垂直進氣口連接方案，便于無縫集成至現(xiàn)有系統(tǒng)中。憑借其出色的性能和能效，它們能夠快速處理大量氣體，在 Load lock 和傳送室中實現(xiàn)快速、頻繁的抽真空循環(huán)。
另一種適用于 Load lock 的解決方案是緊湊型 TORRI BD 真空泵。憑借久經(jīng)驗證的工作原理，它們能夠?qū)崿F(xiàn)高能效、低極限壓力以及同類領先的腔體抽真空時間。