技術(shù)參數(shù)	HiPace 80 Neo，搭配 TC 80
氫氣抽速	48 l/s
氦氣抽速	58 l/s
氬氣抽速	66 l/s
氮?dú)獬樗?	67 l/s
氫氣壓縮比	1.4 · 10?
氦氣壓縮比	1.3 · 10?
氬氣壓縮比	1 · 1011
氮?dú)鈮嚎s比	1 · 1011
最終轉(zhuǎn)速下的氫氣氣體流量	15.3 hPa l/s
最終轉(zhuǎn)速下的氦氣氣體流量	2.7 hPa l/s
最終轉(zhuǎn)速下的氬氣氣體流量	0.54 hPa l/s
最終轉(zhuǎn)速下的氮?dú)鈿怏w流量	1.3 hPa l/s
適用于氮?dú)獾淖畲笄凹壵婵?	22 hPa
啟動時間	1.25 最小
可選通信接口	通過 CIP 適配器實(shí)現(xiàn) EtherCAT 和 Profinet 通信
標(biāo)準(zhǔn)通信接口	RS-485，遠(yuǎn)程
安裝方向	任意
聲壓級（EN ISO 2151）	48 dBA
重量（約）	1.7 kg
進(jìn)氣口	DN40/DN 63 ISO-K/ISO-KF/CF-F
排氣口	G 1/4"

市場和應(yīng)用
1、車輛及運(yùn)輸
泄漏檢測和 EoL 測試
太空探索
3D 打印
2、電池
泄漏檢測和 EoL 測試（主控）
3、化學(xué)品
實(shí)驗(yàn)室真空
4、氫能經(jīng)濟(jì)
泄漏檢測和 EoL 測試（主控）
5、醫(yī)療
實(shí)驗(yàn)室真空
質(zhì)譜儀
6、冶金
3D 打印
7、制藥與生物技術(shù)
實(shí)驗(yàn)室真空
8、發(fā)電
綠色能源生產(chǎn)
9、研發(fā)
高能物理
光子學(xué)研究
太空探索
超高真空
低溫工程
等離子體物理
實(shí)驗(yàn)室真空
質(zhì)譜分析
10、制冷和空調(diào)
泄漏檢測和 EoL 測試
11、科學(xué)儀器
質(zhì)譜分析
表面分析
電子顯微鏡
12、半導(dǎo)體
LPCVD / 擴(kuò)散
剝離 / 灰化
PVD
檢驗(yàn)與計量
Si Poly etch
輕沉積
離子注入
PECVD
光刻技術(shù)
金屬和高 K 蝕刻
氧化物蝕刻
Load lock 和 傳輸
ALD
13、技術(shù)氣體
裝瓶
14、薄膜鍍層
裝飾涂層
實(shí)驗(yàn)室涂層
耐磨損涂層

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