技術(shù)參數(shù)	HiPace 700，搭配 TC 400
氫氣抽速	555 l/s
氦氣抽速	655 l/s
氬氣抽速	665 l/s
氮?dú)獬樗?	685 l/s
氫氣壓縮比	4 · 10?
氦氣壓縮比	3 · 10?
氬氣壓縮比	1 · 1011
氮?dú)鈮嚎s比	1 · 1011
最終轉(zhuǎn)速下的氫氣氣體流量	14 hPa l/s
最終轉(zhuǎn)速下的氦氣氣體流量	20 hPa l/s
最終轉(zhuǎn)速下的氬氣氣體流量	3.5 hPa l/s
最終轉(zhuǎn)速下的氮?dú)鈿怏w流量	6.5 hPa l/s
適用于氮?dú)獾淖畲笄凹壵婵?	11 hPa
啟動時(shí)間	4 最小
可選通信接口	Profibus、Profinet、Ethercat、Devicenet、Semi E74
標(biāo)準(zhǔn)通信接口	RS-485，遠(yuǎn)程
安裝方向	任意
聲壓級（EN ISO 2151）	50 dBA
重量（約）	11.5 kg
進(jìn)氣口	DN 160 ISO-K/ISO-F/CF-F
排氣口	DN 25 ISO-KF /G 1/4"

市場和應(yīng)用
1、車輛及運(yùn)輸
熱處理
泄漏檢測和 EoL 測試
太空探索
電子束焊
3D 打印
2、電池
泄漏檢測和 EoL 測試（主控）
3、化學(xué)品
實(shí)驗(yàn)室真空
4、氫能經(jīng)濟(jì)
泄漏檢測和 EoL 測試（主控）
5、醫(yī)療
診斷成像
實(shí)驗(yàn)室真空
醫(yī)用加速器
質(zhì)譜儀
6、冶金
電子束焊
真空銅焊 / 釬焊
3D 打印
熱處理
7、制藥與生物技術(shù)
實(shí)驗(yàn)室真空
8、發(fā)電
綠色能源生產(chǎn)
9、研發(fā)
高能物理
太空探索
超高真空
等離子體物理
實(shí)驗(yàn)室真空
質(zhì)譜分析
10、制冷和空調(diào)
泄漏檢測和 EoL 測試
科學(xué)儀器
質(zhì)譜分析
表面分析
11、半導(dǎo)體
LPCVD / 擴(kuò)散
剝離 / 灰化
PVD
檢驗(yàn)與計(jì)量
Si Poly etch
輕沉積
離子注入
PECVD
光刻技術(shù)
金屬和高 K 蝕刻
氧化物蝕刻
Load lock 和 傳輸
ALD
12、技術(shù)氣體
裝瓶
13、薄膜鍍層
實(shí)驗(yàn)室涂層

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