問題一： 普發(fā) HiPace 700 分子泵的核心參數(shù)是多少？有哪些子型號可選？

解答（參數(shù)與選型篇）：

HiPace 700 是德國普發(fā)真空旗下的高性能渦輪分子泵，氮?dú)獬樗龠_(dá) 685 L/s，搭載 TC 400 集成驅(qū)動(dòng)單元，支持任意方向安裝，廣泛用于半導(dǎo)體、鍍膜、OLED、科研等高真空應(yīng)用場景。

核心參數(shù)一覽：

參數(shù)項(xiàng)	規(guī)格
抽速（N?）	685 L/s
抽速（Ar）	665 L/s
抽速（H?）	555 L/s
抽速（He）	655 L/s
極限真空度	標(biāo)準(zhǔn)版 < 1×10?? hPa；CF-F 版 < 5×10?1? hPa
建議啟動(dòng)壓強(qiáng)	≤ 11 hPa
額定轉(zhuǎn)速	49,200 RPM（±2%）
運(yùn)行電壓	48 VDC ±5%（部分子型號 24 VDC）
進(jìn)氣口法蘭	DN 160 ISO-K / ISO-F / CF-F
排氣口法蘭	DN 25 ISO-KF / G 1/4"
冷卻方式	風(fēng)冷（標(biāo)配）/ 水冷（可選，15-35°C，100 L/h）
軸承類型	復(fù)合軸承（高真空側(cè)永磁軸承 + 前級側(cè)陶瓷球軸承）
噪音等級	≤ 50 dB(A)
防護(hù)等級	IP54
重量	約 38-44 kg

HiPace 700 子型號差異 ：

子型號后綴	含義	適用場景
標(biāo)準(zhǔn)版	通用型，風(fēng)冷/水冷可選	大多數(shù)高真空應(yīng)用
P（Process）	耐顆粒設(shè)計(jì)，耐灰塵	鍍膜、半導(dǎo)體、電子束焊接等易受灰塵影響的工藝 -1
Plus	微振動(dòng) + 低雜散磁場	電子顯微鏡等高要求分析設(shè)備 -1
H（High Compression）	高壓縮比，尤其適用于輕質(zhì)氣體	超高真空（UHV）應(yīng)用 -1
M	5軸磁懸浮軸承，完全無油運(yùn)行	半導(dǎo)體光刻、離子注入等對振動(dòng)和潔凈度極致要求的工藝 -7
U（Upside-down）	倒置安裝專用	特定安裝方向需求
C（Corrosive）	耐腐蝕氣體版本	含腐蝕性氣體的工藝環(huán)境

選型建議：科研實(shí)驗(yàn)室一般場景選標(biāo)準(zhǔn)版即可；若涉及含粉塵工藝（如鍍膜）建議選 P 系列；若用于 SEM/TEM 等對振動(dòng)敏感設(shè)備，建議選 Plus；若追求極高真空和輕質(zhì)氣體抽除能力，選 H 系列。

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問題二： HiPace 700 日常運(yùn)行需要注意什么？冷卻系統(tǒng)有什么要求？

解答（使用規(guī)范篇）：

1. 冷卻系統(tǒng)要求 ：

HiPace 700 標(biāo)配風(fēng)冷，可選配水冷

水冷參數(shù)：冷卻水溫度 15-35°C，消耗量 100 L/h，最大水壓 6 bar

風(fēng)冷套件：可選配普發(fā)原廠徑向空氣冷卻風(fēng)扇（型號 PM Z01 303 A），安裝于泵體側(cè)面，由 TC 400 的 M12 附件接口供電，泵啟動(dòng)即自動(dòng)運(yùn)行 

若冷卻不足，可能導(dǎo)致泵體過熱報(bào)警或自動(dòng)停機(jī)

2. 安裝與環(huán)境要求 ：

泵體可任意方向安裝（Plus 版本需豎直安裝、法蘭口朝上）

環(huán)境溫度：風(fēng)冷 +5°C 至 +35°C，水冷 +5°C 至 +40°C

相對濕度：T≤31°C 時(shí) ≤80%，T=40°C 時(shí) ≤50%

安裝海拔：≤ 2000 m

進(jìn)氣口建議加裝防碎網(wǎng)或保護(hù)屏，防止異物進(jìn)入

3. 電源與控制器：

標(biāo)準(zhǔn)版使用 48 VDC 供電，需配合原廠電源（如 TPS 400 或 DCU 400）

TC 400 電子驅(qū)動(dòng)單元集成在泵體上，支持 RS-485 通訊和 Remote 接口遠(yuǎn)程控制 

電氣連接時(shí)務(wù)必確保接地良好，避免電擊風(fēng)險(xiǎn)

4. 維護(hù)提醒：

復(fù)合軸承分子泵建議 約 17,200 小時(shí)或 3-4 年保養(yǎng)一次，工藝惡劣時(shí)應(yīng)縮短周期 

定期檢查油棉狀態(tài)（變黑、發(fā)黃需更換）

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問題三： HiPace 700 常見故障有哪些？如何排查？

解答（故障排查篇）：

根據(jù)普發(fā)維修經(jīng)驗(yàn)，HiPace 700 常見故障及排查步驟如下 ：

故障現(xiàn)象	可能原因	排查動(dòng)作
真空度正常、能達(dá)到全速，但噪音大	陶瓷球軸承磨損（最常見，運(yùn)行超3年高發(fā)）	建議送修檢測，放任不管會(huì)磨損轉(zhuǎn)子造成更嚴(yán)重?fù)p傷
無法啟動(dòng)，手撥葉片無法轉(zhuǎn)動(dòng)	轉(zhuǎn)子完全卡死	立即停機(jī)送修
運(yùn)行中有異響	異物進(jìn)入 / 軸承磨損 / 動(dòng)平衡破壞 / 前級泵返油	立即停機(jī)，送修檢測
無法達(dá)到全速，真空度抽不下去	前級真空問題 / 系統(tǒng)漏氣 / 泵體污染	檢查前級泵性能；開氣鎮(zhèn)閥運(yùn)行一段時(shí)間后再觀察；無法解決則送修
控制器報(bào)錯(cuò) Err 006	啟動(dòng)時(shí)間設(shè)定太短 / 系統(tǒng)漏氣 / 放氣閥打開 / 前級泵極限真空不足	延長加速時(shí)間設(shè)定；逐段檢漏；檢查前級泵
控制器報(bào)錯(cuò) Err 021 / Err 108	控制器故障	更換或維修控制器
控制器報(bào)錯(cuò) Err 117	控制器問題 / 冷卻不足 / 系統(tǒng)漏氣	檢查冷卻系統(tǒng)；檢漏；控制器檢測
油棉變黑、發(fā)黃	正常老化或污染	3-4年定期更換油棉，避免污染物附著軸承 -2
分子泵返油	前級泵返油導(dǎo)致	檢查前級泵，立即送修分子泵

復(fù)位操作：可通過斷電重啟或 Remote 接口信號復(fù)位故障。

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問題四： HiPace 700 多久需要保養(yǎng)一次？保養(yǎng)包含哪些內(nèi)容？

解答（維護(hù)保養(yǎng)篇）：

1. 保養(yǎng)周期 ：

普發(fā)建議 HiPace 700 復(fù)合軸承分子泵約 17,200 運(yùn)行小時(shí)或 3-4 年進(jìn)行一次標(biāo)準(zhǔn)保養(yǎng)

M 系列磁懸浮版本保養(yǎng)間隔可延長至 4 年 

若工藝環(huán)境惡劣（粉塵多、氣體腐蝕性強(qiáng)），建議縮短至 2 年

2. 需要送檢的信號：

噪音明顯增大

振動(dòng)加劇

抽氣性能顯著下降

控制器頻繁報(bào)警

油棉顏色異常

達(dá)到保養(yǎng)周期

3. 保養(yǎng)內(nèi)容 ：

潔凈環(huán)境下拆解、清洗泵體內(nèi)部

更換陶瓷球軸承、密封件等消耗件

更換油棉（軸承潤滑油儲(chǔ)罐）

轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡校正

臺(tái)架老化測試，記錄抽速曲線、極限真空、振動(dòng)數(shù)據(jù)

維修后出具檢測報(bào)告

4. 保養(yǎng)后性能標(biāo)準(zhǔn)：

抽速恢復(fù)至新泵標(biāo)稱值的 95% 以上

振動(dòng)速度 < 1.0 mm/s (RMS)

啟動(dòng)時(shí)間正常（≤ 4.5 分鐘）

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問題五： HiPace 700 噪音大但真空度正常，需要立即處理嗎？

解答：

這是 HiPace 系列運(yùn)行 3 年以上較常見的現(xiàn)象，通常是內(nèi)部陶瓷球軸承已磨損導(dǎo)致的 。

處理建議：

不要繼續(xù)帶病運(yùn)行——磨損的軸承滾珠碎屑可能損傷高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子（49,200 RPM），造成更嚴(yán)重的二次損壞，甚至轉(zhuǎn)子報(bào)廢

建議盡快送檢，更換軸承組件和油棉

若放任不管，最終可能導(dǎo)致轉(zhuǎn)子卡死、整泵報(bào)廢，維修成本大幅上升

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問題六： HiPace 700 與 HiPace 400 / 300 有什么區(qū)別？怎么選？

解答（系列對比篇）：

對比維度	HiPace 300	HiPace 400	HiPace 700
氮?dú)獬樗?/span>	260-300 L/s	355 L/s	685 L/s
進(jìn)氣口法蘭	DN 100 ISO-K/CF	DN 100 ISO-K/CF	DN 160 ISO-K/CF
極限真空	≤ 7.5×10?11 hPa	≤ 1×10?? hPa	< 1×10?? hPa（CF-F <5×10?1?）
額定轉(zhuǎn)速	最高 90,000 rpm	49,200 rpm	49,200 rpm
重量	約 23-25 kg	約 30 kg	約 38-44 kg
適用腔體	中小型真空腔	中型真空腔	大型真空腔、多腔體系統(tǒng)

選型建議：

腔體容積 < 100L，選 HiPace 300 即可

腔體容積 100-200L，HiPace 400 性價(jià)比高

腔體容積 > 200L 或需要快速抽空，選 HiPace 700

OLED 鍍膜機(jī)等大型設(shè)備，HiPace 700 是行業(yè)標(biāo)配 -5

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關(guān)于北京地區(qū)的 HiPace 700 維修服務(wù)

我司 北京博銳興高科技有限公司 承接普發(fā) HiPace 全系列分子泵的檢測、保養(yǎng)、維修服務(wù)，服務(wù)覆蓋北京海淀區(qū)中關(guān)村、懷柔科學(xué)城、昌平生命科學(xué)園等科研聚集區(qū)。

服務(wù)內(nèi)容：HiPace 700 軸承更換、動(dòng)平衡校正、油棉更換、控制器維修、年度保養(yǎng)

服務(wù)流程：上門初檢 → 診斷報(bào)價(jià) → 潔凈間維修 → 臺(tái)架測試 → 現(xiàn)場安裝調(diào)試

增值服務(wù)：維修期間可提供代用泵，保障實(shí)驗(yàn)連續(xù)性

服務(wù)熱線北京地區(qū)故障響應(yīng)：13520003658/13311223897/13311311498（7*24）

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